发明名称 |
METHOD FOR RAW ETCHING SILICON SOLAR CELLS |
摘要 |
<p>Die vorliegende Erfindung betrifft ein neues Verfahren zur Herstellung von strukturierten Oberflächen auf multikristallinen, trikristallinen und monokristallinen Siliziumoberflächen von Solarzellen oder auf Siliziumsubstraten, welche für photovoltaische Zwecke angewendet werden. Sie betrifft insbesondere ein Ätzverfahren sowie ein Ätzmittel zur Herstellung einer strukturierten Oberfläche auf einem Siliziumsubstrat.</p> |
申请公布号 |
WO0147032(A1) |
申请公布日期 |
2001.06.28 |
申请号 |
WO2000EP12328 |
申请日期 |
2000.12.07 |
申请人 |
MERCK PATENT GMBH;KUEBELBECK, ARMIN;ZIELINSKI, CLAUDIA;GOELZENLEUCHTER, THOMAS |
发明人 |
KUEBELBECK, ARMIN;ZIELINSKI, CLAUDIA;GOELZENLEUCHTER, THOMAS |
分类号 |
C09K13/06;C09K13/08;H01L21/306;H01L31/0236;H01L31/18;(IPC1-7):H01L31/023;H01L21/321 |
主分类号 |
C09K13/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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