| 主权项 |
1.一种残留应力分布之检测方法,其方法包括下列步骤:(一)将待测物以化学蚀刻制程得梳状之悬臂梁;(二)量测每一个悬臂梁之翘曲量。2.如申请专利范围第1项之检测方法,其中该化学蚀刻制程包括下列步骤:(一)清洗待测物;(二)前处理;(三)压膜;(四)曝光;(五)显影;(六)蚀刻;(七)光阻剂去除。3.如申请专利范围第1项之检测方法,其中该待测物系为厚度≦0.3mm之金属板片。4.如申请专利范围第1项之检测方法,其中该待测物系为厚度≦0.3mm之金属板片加工成品。5.如申请专利范围第4项之检测方法,其中该金属板片加工成品可为导线架。6.如申请专利范围第1项之检测方法,其中该梳状之悬臂梁的长度,宽度与间距,可依该待测物加工精密度的需求而定。7.如申请专利范围第1项之检测方法,其中该翘曲量可做为该待测物精密度分级的筛选标准。图式简单说明:第一图为化学蚀刻制程后,翘曲量量测示意图;参考图号B:化学蚀刻制程前,待测板片位置;参考图号A:化学蚀刻制程后,悬臂梁位置;参考图号V:翘曲量。第二图为化学蚀刻底片示意图:参考图号L:悬臂梁之长度;参考图号X:悬臂梁之宽度;第考图号D:相临悬臂梁之间矩。第三图为厚度0.25mm铜片,经化学蚀刻制程后,其悬臂梁宽度及间距为2mm之翘曲量量测。第四图为厚度0.25mm铜片,经化学蚀刻制程后,其悬臂梁宽度及间距为1.5mm之翘曲量量测。第五图为厚度0.25mm铜片,经化学蚀刻制程后,其悬臂梁宽度及间距为1mm之翘曲量量测。第六图为厚度0.25mm铜片,经化学蚀刻制程后,其悬臂梁宽度及间距为0.75mm之翘曲量量测。第七图为导线架示意图。第八图为经化学蚀刻制程后,除去边框之导线架示意图。 |
