| 摘要 |
<p>본 발명은 반도체 웨이퍼를 기준위치에 맞추어 정렬시키는 웨이퍼 정렬기에 관한 것으로, 편심위치를 보정하는 한편 정해진 방향으로 웨이퍼의 플랫이 위치되게 하는 것이다. 이러한 본 발명은 웨이퍼를 고정시켜 회전시키는 척을 구비하고 웨이퍼 표면에 조사되는 빛을 검출하는 웨이퍼 검출수단을 구비한 웨이퍼 정렬기에 있어서, 척주변에 3개가 설치되어 웨이퍼를 X축과 Z축 방향으로 이동되는 조정봉과, 상기 조정봉을 Z축 방향으로 이동시키는 Z축 이송수단과, 상기 조정봉을 X축 방향으로 이송시키는 X축 이송수단과, 상기 웨이퍼 검출수단의 검출값을 인식하여 플랫위치와 편심거리 및 편심각도를 계산하며 계산된 결과에 따라 척의 회전정도와 Z축 및 X축 이송수단을 구동시키는 콘트롤수단을 구비시킴으로써 이루어진다.</p> |
