| 摘要 |
<p>Danach schafft die Erfindung eine Meßstation für integrierte Schaltkreise auf Wafern oder andere elektronische Bauelemente, mit: einer positionierbaren Aufspannvorrichtung (26) zur Aufnahme eines Wafers oder eines anderen elektronischen Bauelements; mindestens einem Sondenmanipulator (36) zum Halten und Positionieren einer Meßsonde; einem Abschirmungsgehäuse, welches die Aufspannvorrichtung (26) und den mindestens einen Sondenmanipulator (36) samt Meßsonde vollständig umgibt, wobei das Abschirmungsgehäuse als Teil des Maschinengestells der Meßstation ausgebildet ist, mit einer unteren Gehäusekammer (Maschinenraum), welche die Positioniereinrichtung der Aufspannvorrichtung (26) und die Steuerungs- und Leistungselektronik der Meßstation vollständig umschließt, und einer oder mehreren darüberliegenden oberen Gehäusekammern (Meßraum), welche die Aufspannvorrichtung (26) und mindestens einen der Sondenmanipulatoren (36) umschliessen.</p> |
