| 发明名称 |
Berührungsloses elektrisches Messverfahren für dünne Oxide |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69611119(T2) |
申请公布日期 |
2001.05.17 |
| 申请号 |
DE1996611119T |
申请日期 |
1996.04.23 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK |
发明人 |
VERKUIL, ROGER LEONARD |
| 分类号 |
G01B21/08;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01B7/06 |
主分类号 |
G01B21/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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