发明名称 METHOD FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR ELEMENTS
摘要
申请公布号 EP1086488(A2) 申请公布日期 2001.03.28
申请号 EP19990936327 申请日期 1999.05.25
申请人 OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH & CO. OHG 发明人 HAERLE, VOLKER
分类号 H01L21/20;H01L21/205;H01L21/306;H01S5/02;H01S5/026;(IPC1-7):H01L21/20;H01L31/18;H01L33/00 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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