发明名称 用于一自行对正线性致动器之万用接头
摘要 一种万用接头,其供阀总成之一自行对正线性致动器使用。该自行对正线性致动器利用一传动螺杆或其他螺纹传动装置为一节流阀驱动一柱塞。该传动螺杆在一框架内旋转,而与一传动联结器耦接之一螺纹套筒或球形螺杆驱动该柱塞与该传动螺杆平行。该万用接头藉由许可该传动联结器相对于该传动螺杆作摆动运动而减缓因该传动螺杆与柱塞间之未对正所导致之任何弯曲应变。
申请公布号 TW425461 申请公布日期 2001.03.11
申请号 TW088119953 申请日期 1999.11.16
申请人 应用材料公司 发明人 米克海尔 马苏
分类号 F16C11/06 主分类号 F16C11/06
代理机构 代理人 蔡坤财 台北巿松江路一四八号十二楼
主权项 1.一种用于一自行对正线性致动器之万用接头,其包含:一外圆柱体,其有一第一轴向孔;一第一内圆柱体,其配置于该第一轴向孔内且与该外圆柱体大致共轴对正;及一第二内圆柱体,其配置于该第一轴向孔内且与该外圆柱体和第一内圆柱体大致共轴对正;其中该第一和第二内圆柱体枢接于该外圆柱体,使该等内圆柱体其中之一或二者的摆动运动减缓与该第一内圆柱体耦接之一传动构件和与该第二内圆柱体耦接之一传动联结器因该传动构件与传动联结器间未对正造成之弯曲应变。2.如申请专利范围第1项之万用接头,其中该第一和第二内圆柱体的外径大约相同且二者为轴向相邻。3.如申请专利范围第1项之万用接头,其中该传动构件具有螺纹。4.如申请专利范围第3项之万用接头,其更包含一螺纹套筒,该螺纹套筒附加于该第一内圆柱体且与该传动构件的螺纹咬合,藉此在该传动构件转动时对该传动联结器赋予沿该传动构件之一轴线的轴向运动。5.如申请专利范围第2项之万用接头,其更包含一第一对相向定位销,该对定位销配置于该第一内圆柱体与外圆柱体间,使该第一内圆柱体与外圆柱体耦接为绕垂直于该外圆柱体之一轴线之一第一摆动轴线作摆动运动。6.如申请专利范围第5项之万用接头,其更包含一第二对相向定位销,该对定位销配置于该第二内圆柱体与外圆柱体间,使该第二内圆柱体与外圆柱体耦接为绕垂直于该第一摆动轴线及外圆柱体轴线之一第二摆动全线作罢动运动。7.一种自行对正升降螺杆机构,其包含:一螺纹传动构件,其适于绕一第一轴线作旋转运动;一传动联结器,其与该传动构件耦接且适于沿一第二轴线作平移运动,其中该第二轴线与该第一轴线大致平行;一螺纹套筒,其与该传动构件以螺纹咬合;及一万用接头,其连接该套筒和传动联结器,使该传动构件在其绕该第一轴线转动时对该传动联结器赋予沿该第二轴线之平移运动;其中该万用接头以许可该传动构件和传动联结器其中之一或二者作摆动运动之方式减缓该传动构件与传动联结器因二者间未对正产生之弯曲应变。8.如申请专利范围第7项之自行对正升降螺杆机构,其更包含一马达,该马达直接与该传动构件耦接以对该传动构件赋予绕该第一轴线之旋转运动。9.如申请专利范围第7项之自行对正升降螺杆机构,其中该螺纹传动构件为一传动螺杆。10.如申请专利范围第7项之自行对正升降螺杆机构,其中该螺纹传动构件为一球形螺杆。11.如申请专利范围第7项之自行对正升降螺杆机构,其中该万用接头包含:一外圆柱体,其有一第一轴向孔;一第一内圆柱体,其与该传动构件耦接,该第一内圆柱体配置于该第一轴向孔内且与该外圆柱体大致共轴对正;及一第二内圆柱体,其与该传动联结器连接,该第二内圆柱体配置于该第一轴向孔内且与该外圆柱体和第一内圆柱体大致共轴对正;其中该第一和第二内圆柱体枢接于该外圆柱体,使该等内圆柱体其中之一或二者的摆动运动减缓该传动构件和与该第二内圆柱体耦接之传动联结器因该传动构件与传动联结器间未对正造成之弯曲应变。12.如申请专利范围第11项之自行对正升降螺杆机构,其更包含一第一对相向定位销,该对定位销配置于该第一内圆柱体与外圆柱体间,使该第一内圆柱体与外圆柱体耦接为绕垂直于该外圆柱体之一轴线之一第一摆动轴线作摆动运动。13.如申请专利范围第12项之自行对正升降螺杆机构,其更包含一第二对相向定位销,该对定位销配置于该第二内圆柱体与外圆柱体间,使该第二内圆柱体与外圆柱体耦接为绕垂直于该第一摆动轴线及外圆柱体轴线之一第二摆动轴线作摆动运动。14.一种节流阀总成,其包含:一阀体;一壳体,其附加于该阀体;一螺纹传动构件,其安装于该壳体内以绕一第一轴线作旋转运动;一马达,其直接与该传动构件耦接以对该传动构件赋予绕该第一轴线之旋转运动;一传动联结器,其与该传动构件耦接且适于沿一第二轴线作平移运动,该第二轴线与该第一轴线大致平行;一柱塞导件,其与该第二轴线大致对正,该柱塞导件于一第一端附加于该传动联结器使该传动联结器之线性运动对该柱塞导件赋予线性运动;一柱塞,其附加于该柱塞导件之一第二端且配置于该阀体内;一螺纹套筒,其与该传动构件之螺纹咬合;及一万用接头,其与该套筒和传动联结器连接,使该传动构件在绕该第一轴线转动时对该传动联结器赋予沿该第二轴线之平移运动;其中该万用接头以许可该传动构件和传动联结器其中之一或二者作摆动运动之方式减缓该传动构件与传动联结器间因二者未对正造成之弯曲应变。15.如申请专利范围第14项之节流阀总成,其中该传动构件具有第一和第二端,且该传动构件于该第一和第二端可转动地支撑于该壳体内。16.如申请专利范围第14项之节流阀总成,其中该万用接头包含:一外圆柱体,其有一第一轴向孔;一第一内圆柱体,其与该传动构件耦接,该第一内圆柱体配置于该第一轴向孔内且与该外圆柱体大致共轴对正;及一第二内圆柱体,其与该传动联结器连接,该第二内圆柱体配置于该第一轴向孔内且与该外圆柱体和第一内圆柱体大致共轴对正;其中该第一和第二内圆柱体枢接于该外圆柱体,使该等内圆柱体其中之一或二者的摆动运动减缓该传动构件和与该第二内圆柱体耦接之传动联结器因该传动构件与传动联结器间未对正造成之弯曲应变。17.如申请专利范围第16项之节流阀总成,其更包含一第一对相向定位销,该对定位销配置于该第一内圆柱体与外圆柱体间,使该第一内圆柱体与外圆柱体耦接为绕垂直于该外圆柱体之一轴线之一第一摆动轴线作摆动运动。18.如申请专利范围第17项之节流阀总成,其更包含一第二对相向定位销,该对定位销配置于该第二内圆柱体与外圆柱体间,使该第二内圆柱体与外圆柱体耦接为绕垂直于该第一摆动轴线及外圆柱体轴线之一第二摆动轴线作摆动运动。19.如申请专利范围第14项之节流阀总成,其更包含:一盖,其覆盖该阀体内之一开口,其中该柱塞导作为穿过该盖之一孔收纳于该阀体内;及一挠性风箱,其围绕该柱塞导件配置,该风箱于一第一端密封于该盖且于一第二端密封于该柱塞,使该节流阀之一环境侧与一真空侧隔绝。20.如申请专利范围第14项之节流阀总成,其中该马达为一步进马达。图式简单说明:第一图为一习知节流阀机构之局部垂直剖面图;第二图为一本发明节流阀总成之垂直剖面图;第三图A为一本发明万用接头之透视图;第三图B为一本发明万用接头之顶视平面图;第三图C为沿第三图B中线3C-3C剖得之万用接头剖面图;且第三图D为沿第三图B中线3D-3D剖得之万用接头剖面图。
地址 美国
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