发明名称 半导体器件和制造这种半导体器件的方法
摘要 一种半导体器件,包括:由硅族材料构成的第一电极、依次将反应物加到第一电极上形成的绝缘层、和其逸出功大于第一电极的逸出功的第二电极,此第二电极是在绝缘层上形成的。在电容器结构中,第一电极和第二电极可以分别是下层电极和上层电极。在晶体管结构中,第一电极和第二电极可以分别是硅衬底和栅极。绝缘层可以通过原子层析出法来形成。因此,在这种半导体器件中,有可能提高绝缘层的绝缘性能和增大电容器结构中的电容量。
申请公布号 CN1284747A 申请公布日期 2001.02.21
申请号 CN00108946.3 申请日期 2000.05.19
申请人 三星电子株式会社 发明人 金荣宽;朴兴秀;朴泳旭;李相忍;张允僖;李钟镐;崔城济;李承桓;林载顺;李周远
分类号 H01L27/04;H01L21/283;H01L21/314;H01L21/3205;H01L21/82 主分类号 H01L27/04
代理机构 柳沈知识产权律师事务所 代理人 马莹
主权项 1.一种半导体器件,包括:由硅族材料构成的第一电极;依次将反应物加到第一电极上形成的绝缘层;和其逸出功大于第一电极的逸出功的第二电极,第二电极是在绝缘层上形成的。
地址 韩国京畿道