| 发明名称 |
Method and apparatus for treating a semi-conductor substrate |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2352331(A) |
申请公布日期 |
2001.01.24 |
| 申请号 |
GB20000026261 |
申请日期 |
1999.05.19 |
| 申请人 |
* TRIKON TECHNOLOGIES LIMITED |
发明人 |
KNUT * BEEKMANN;GUY PATRICK * TUCKER |
| 分类号 |
C23C16/40;H01L21/312;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/312 |
主分类号 |
C23C16/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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