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发明名称 THERMOSETTING POLYESTER ANTI-REFLECTIVE COATINGS FOR MULTILAYER PHOTORESIST PROCESSES
摘要
申请公布号 EP1025462(A4) 申请公布日期 2001.01.17
申请号 EP19980952384 申请日期 1998.10.20
申请人 BREWER SCIENCE, INC. 发明人 SHAO, XIE;HESTER, COLIN;FLAIM, TONY, D.;BREWER, TERRY, L.
分类号 G03F7/11;C08G63/54;C09D167/00;G03F7/09;(IPC1-7):G03C1/492;G03F7/038 主分类号 G03F7/11
代理机构 代理人
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