DUV-taugliches Mikroskop-Objektiv mit parfokalem IR-Fokus

摘要

Ein DUV-geeignetes Trocken-Objektiv für Mikroskope besteht aus Linsengruppen aus Quarzglas, Flußspat und teilweise auch Lithiumfluorid. Es besitzt einen DUV-Fokus für ein Wellenlängenband ^DUV Y KH mit K<= 8 nm und zusätzlich einen parfokalen IR-Fokus für eine IR-Wellenlänge ^IR mit 760 nm 6 ^IR 6 920 nm. Dazu ist das vorletzte Element beidseitig konkav ausgebildet und sein objekseitiger Außenradius deutlich kleiner als der bildseitige Außenradius. Das DUV-Objektiv ist IR-autofokus-tauglich.