高温超高纯水生产设备和包括该设备的化学液制备系统

摘要

一种高温超高纯水生产设备,包括一个用来处理通过一次纯水系统21获得的一次纯水以便获得高温超高纯水的蒸发器22、一个用于从蒸发器22所获超高纯水中除去少量金属离子的离子交换器23、一个用于使含有少量未被离子交换器23除去的金属离子的高温超高纯水超高纯水与具有常温并且其少量金属离子是通过离子交换器23的处理而除去的超高纯水接受热交换的钛制纯水热交换器24,所述设备还包括一个由SUS材料制成的且用于将纯水热交换器24所冷却的含未除去的金属离子的超高纯水冷却到不超过40℃而以便用作离子交换器23的给水的冷却热交换器25。脱去少量金属离子并被热交换器24加热到高温的超高纯水被转变成电解离子水或通过一个用于半导体制造方法中的一个处理步骤的化学液制备系统与一种化学试剂混合起来。

主权项

1．一种高温超高纯水生产设备，包括一个用来处理通过直接过滤和除气而得到的预处理水或通过一次纯水系统获得的一次纯水以便获得高温超高纯水的蒸发器、一个用于从蒸发器所获超高纯水中除去少量金属离子的离子交换器。