发明名称 LARGE-AREA FED APPARATUS AND METHOD FOR MAKING SAME
摘要
申请公布号 EP1057200(A1) 申请公布日期 2000.12.06
申请号 EP19990909683 申请日期 1999.02.26
申请人 MICRON TECHNOLOGY, INC. 发明人 CATHEY, DAVID, A.;BROWNING, JIMMY, J.
分类号 H01J9/24;H01J9/18;H01J29/02;H01J29/86;H01J29/87;H01J31/12;(IPC1-7):H01J31/12;H01J9/26 主分类号 H01J9/24
代理机构 代理人
主权项
地址