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发明名称 FREQUENCY DOUBLEING HYBRID RESIST
摘要
申请公布号 KR100268292(B1) 申请公布日期 2000.12.01
申请号 KR19970023549 申请日期 1997.06.09
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION. 发明人 HAKEY, MARK C.;HOLMES, STEVEN J.;HORAK, DAVID V.;KATNANI, AHMAD D.;PATEL, NIRANJAN M.;RABIDOUX, PAUL A.
分类号 G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/095;H01L21/02;H01L21/027;H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/027;H01L21/314 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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