发明名称 Verfahren und Gerät zur Plasmabehandlung von Werkstücken
摘要
申请公布号 DE69425590(D1) 申请公布日期 2000.09.21
申请号 DE19946025590 申请日期 1994.10.05
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 HANAWA, HIROJI
分类号 H05H1/46;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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