发明名称 DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0811237(B1) 申请公布日期 2000.09.13
申请号 EP19960903120 申请日期 1996.02.20
申请人 FILPLAS VACUUM TECHNOLOGY PTE LTD. 发明人 SHI, XU;FULTON, MICHAEL;FLYNN, DAVID, IAN;TAY, BENG, KANG;TAN, HONG, SIANG
分类号 C23C14/22;C23C14/32;C23C14/50;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32;C23C14/00;H01J37/30 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
主权项
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