| 发明名称 |
Schutzblende für eine elektrostatische Haltevorrichtung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE20003165(U1) |
申请公布日期 |
2000.07.27 |
| 申请号 |
DE20002003165U |
申请日期 |
2000.02.22 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES DRESDEN GMBH & CO. OHG;V.OX-TEC GMBH |
发明人 |
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| 分类号 |
B23Q3/154;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/68;B23Q3/15 |
主分类号 |
B23Q3/154 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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