Verfahren zum Beschichten von Substraten aus Kunststoff

摘要

Bei einem Verfahren zum Beschichten von Substraten aus Kunststoff mit einem transparenten, kratz- und abriebunempfindlichen und gegen Witterungseinflüsse beständigen Schichtpaket mit einem in einer Vakuumkammer in einigem Abstand vom Substrat brennenden Plasma wird DOLLAR A - in einem ersten Verfahrensschritt eine Substratreinigung mit einem oxydierenden Gas, danach DOLLAR A - in einem zweiten Verfahrensschritt eine Vernetzung mit einem inerten Gas vorgenommen und DOLLAR A - in einem dritten Verfahrensschritt für die Erzeugung einer ersten Sperrschicht ein oxydierendes Gas und eine siliziumorganische Verbindung benutzt und DOLLAR A - in einem vierten Verfahrensschritt zum Aufbringen einer Unterschicht ein oxydierendes Gas, eine siliziumorganische Verbindung und eine UV-absorbierende Verbindung verwendet und DOLLAR A - in einem fünften Verfahrensschritt zum Aufbringen einer Kratzschicht ein oxydierendes Gas und eine siliziumorganische Verbindung und DOLLAR A - in einem sechsten Verfahrensschritt zum Aufbringen einer Gleitschicht ein inertes Gas und eine siliziumorganische Verbindung benutzt.