| 发明名称 |
Reactor voorzien van verwarming. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL1010003(C2) |
申请公布日期 |
2000.03.13 |
| 申请号 |
NL19981010003 |
申请日期 |
1998.09.03 |
| 申请人 |
ASM INTERNATIONAL N.V. |
发明人 |
VLADIMIR IVANOVICH KUZNETSOV |
| 分类号 |
H01L21/22;C23C16/455;C30B25/10;C30B25/14;C30B31/12;C30B31/16;F27D11/02;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/324;(IPC1-7):C23C16/00;C30B25/00;C03B5/02 |
主分类号 |
H01L21/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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