Fabrication method of a integrated optical circuit

摘要

L'invention concerne un procédé de fabrication d'un circuit optique intégré comportant au moins un guide d'onde gravé et enterré, de type BRS, couplé à au moins un guide d'onde gravé et non enterré, de type ridge. Ce procédé consiste particulièrement à définir au préalable l'empreinte des deux types de guide, au moyen d'un masque commun, puis à définir les deux types de guide par gravures successives. <IMAGE>