混合的有机－无机平面光波导器件

摘要

本发明涉及在一基体(12)上形成的平面光学器件,它包含一列波导芯层(14)和与该芯层接触地形成的包层(16)。该波导芯层列(14)和包层(16)中至少有一者是一种无机—有机混合材料,该材料包含一种含有硅原子和氧原子的广延的基体,在该广延的基体中至少有一部分硅原子与取代的或未取代的烃部分直接键合。根据本发明的其它实施方案,形成芯层列的方法包括以下步骤:制备波导芯层组合物前体材料,部分水解和聚合该材料,在对形成无机—有机混合材料有效的条件下形成波导芯层列,所述混合材料包含一种含有硅原子和氧原子的广延的基体,其中至少有一部分硅原子与取代的或未取代的烃部分直接键合。

主权项

1.在基体上形成的平面光波导，包括：具有第一折射率的波导芯层，以及与所述芯层接触形成的包层，所述包层具有小于所述第一折射率的第二折射率，所述芯层和所述包层中的至少一者是无机-有机混合材料，该混合材料包含广延的基体，该基体含有硅原子和氧原子，其中至少部分硅原子直接与取代的或未取代的烃部分键合。