发明名称 PROBE CARD TIP POLISHING METHOD AND ITS APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100244489(B1) 申请公布日期 2000.02.01
申请号 KR19970034164 申请日期 1997.07.22
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 SHIN, YONG-KYUN
分类号 H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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