| 发明名称 |
Alicyclic nortricyclene polymers and co-polymers |
| 摘要 |
Alicyclic nortricyclene polymers and co-polymers suitable for deep ultraviolet microlithography applications.
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| 申请公布号 |
US6013413(A) |
申请公布日期 |
2000.01.11 |
| 申请号 |
US19980030461 |
申请日期 |
1998.02.25 |
| 申请人 |
CORNELL RESEARCH FOUNDATION, INC. |
发明人 |
FRECHET, JEAN M. J.;NIU, QUINGSHAN |
| 分类号 |
C08F32/08;C08G61/04;C08G61/08;G03F7/004;G03F7/039;(IPC1-7):G03C1/73;C07F32/06 |
主分类号 |
C08F32/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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