| 摘要 |
<p>웨이퍼 연마 장치는, 회전가능하게 지지된 연마 테이블, 패드, 캐리어 헤드 및 이면 패드를 구비한다. 이 패드는 연마 테이블에 고정된다. 캐리어 헤드는 연마 테이블에 대향하도록 배치되고, 이 연마 테이블에 대해 정방/역방으로 회전 및 이동가능하게 지지된다. 이면 패드는 연마 패드에 대향하는 캐리어 헤드의 표면에 고정되고, 웨이퍼를, 압축 공기의 작용과 함께, 연마 패드에 대해 누른다. 이면 패드는, 웨이퍼의 외측 주변부를 누르기 위해, 독립 기포를 갖는 환상의 발포체 및 이 제 1 발포체 내측에 제공되며 연속 기포를 갖는 원주형의 제 2 발포체로 이루어진다.</p> |
