发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING SPIRAL ELECTRODE PATTERN AND ITS MAKING METHOD
摘要
申请公布号 KR100234698(B1) 申请公布日期 1999.12.15
申请号 KR19960056007 申请日期 1996.11.21
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 LEE, SEUNG-HO
分类号 H01L31/0264;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 H01L31/0264
代理机构 代理人
主权项
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