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发明名称
EPITAXIAL WAFER FOR FIELD EFFECT TRANSISTOR AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号
JPH11345775(A)
申请公布日期
1999.12.14
申请号
JP19980154015
申请日期
1998.06.03
申请人
HITACHI CABLE LTD
发明人
WADA JIRO
分类号
H01L21/205;H01L21/338;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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