发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11340205(A) 申请公布日期 1999.12.10
申请号 JP19980149388 申请日期 1998.05.29
申请人 KYOCERA CORP 发明人 NISHIMURA KOTA
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/338;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
地址