发明名称 |
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH11330473(A) |
申请公布日期 |
1999.11.30 |
申请号 |
JP19980128393 |
申请日期 |
1998.05.12 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MITANI SHINICHIRO;WAKAHARA YOSHIFUMI;TAMAOKI YOICHI |
分类号 |
H01L27/08;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 |
主分类号 |
H01L27/08 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|