发明名称 Verfahren zum Bestimmen des Brechungsindex der obersten Dünnschicht einer mehrlagigen Schicht
摘要
申请公布号 DE3834948(C2) 申请公布日期 1999.11.11
申请号 DE19883834948 申请日期 1988.10.13
申请人 RICOH CO., LTD. 发明人 ISOBE, TAMI
分类号 G01N21/21;G01N21/41;(IPC1-7):G01N21/41;G01J3/447 主分类号 G01N21/21
代理机构 代理人
主权项
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