| 发明名称 |
PLASMA SOURCE ARRANGEMENT FOR ION IMPLANTATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CA2052080(A1) |
申请公布日期 |
1992.04.11 |
| 申请号 |
CA19912052080 |
申请日期 |
1991.09.23 |
| 申请人 |
HUGHES AIRCRAFT COMPANY |
发明人 |
MATOSSIAN, JESSE N.;GOEBEL, DAN M. |
| 分类号 |
C23C14/48;H01J37/08;H01J37/317;H01J37/32;H01L21/265;(IPC1-7):B05D1/08;C23C4/12;B05B7/22 |
主分类号 |
C23C14/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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