| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR PLASMA CVD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11243062(A) |
申请公布日期 |
1999.09.07 |
| 申请号 |
JP19980347797 |
申请日期 |
1998.11.20 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
TAKAGI SATOSHI;TERANISHI KOJI |
| 分类号 |
H05H1/46;C23C16/50;C23C16/509;C23C16/52;G03G5/08;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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