| 发明名称 |
RAW MATERIAL ADDITION SYSTEM FOR SINGLE CRYSTAL PULLING-UP DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11236290(A) |
申请公布日期 |
1999.08.31 |
| 申请号 |
JP19980060526 |
申请日期 |
1998.02.25 |
| 申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
HARADA ISAMU;OZAKI ATSUSHI |
| 分类号 |
C30B15/02;C30B29/06;(IPC1-7):C30B15/02 |
主分类号 |
C30B15/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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