发明名称 HEATER ASSEMBLY FOR SEMICONDUCTOR WAFER WASHING LIQUID CIRCULATION AND HEATING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100215987(B1) 申请公布日期 1999.08.16
申请号 KR19960038174 申请日期 1996.09.04
申请人 TAE YONG TECH CO., LTD 发明人 JO, HYUN-GI
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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