发明名称 CUTTING METHOD AND CUTTER OF LAMINATED PLATE, MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE, AND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11207693(A) 申请公布日期 1999.08.03
申请号 JP19980027786 申请日期 1998.01.26
申请人 TOSHIBA CORP;TOSHIBA MICROELECTRONICS CORP 发明人 FUKUOKA MASARU;MIYASHITA KOICHI;YOSHIMURA SHUNSUKE
分类号 B26D3/00;B26D7/08;B26F1/44;H01L23/12;(IPC1-7):B26D7/08 主分类号 B26D3/00
代理机构 代理人
主权项
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