| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR EXPOSING SEMICONDUCTORS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11195580(A) |
申请公布日期 |
1999.07.21 |
| 申请号 |
JP19970366297 |
申请日期 |
1997.12.25 |
| 申请人 |
BALL SEMICONDUCTOR INC;KAWAGUCHI KOGAKU SANGYO:KK |
发明人 |
NAKANO HIDESHI;MUKAI JIRO;YAMAMOTO HIROHARU |
| 分类号 |
G03F7/20;H01L21/02;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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