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发明名称 PROBE CARD
摘要
申请公布号 JPH11190748(A) 申请公布日期 1999.07.13
申请号 JP19970358731 申请日期 1997.12.26
申请人 DENKI KAGAKU KOGYO KK 发明人 NAKANO TATSUO;NAKASAKI NORIAKI;KATO KAZUO
分类号 G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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