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发明名称
A METHOD OF SHALLOW TRENCH ISOLATION
摘要
申请公布号
KR100195202(B1)
申请公布日期
1999.06.15
申请号
KR19950062173
申请日期
1995.12.28
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD.
发明人
OH, SE-JUN;MUN, JONG
分类号
H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
地址
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