| 发明名称 |
MANUFACTURE OF INTEGRATED STRUCTURE INCLUDING REMOVING SACRIFICIAL REGION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11150096(A) |
申请公布日期 |
1999.06.02 |
| 申请号 |
JP19980195724 |
申请日期 |
1998.07.10 |
| 申请人 |
ST MICROELECTRON SRL |
发明人 |
MONTANINI PIETRO;FERRERA MARCO;LAURA CASTOLDI;IRARIA GERMI |
| 分类号 |
H01L21/306;B81B3/00;B81C1/00;G01C19/56;G01L9/00;G01P15/08;G01P15/097;G01P15/10;G01P15/125;H01L21/762;H01L21/764;H01L49/00;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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