发明名称 GROUP III NITRIDE SEMICONDUCTOR AND METHOD FOR GROWING ITS CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH11150067(A) 申请公布日期 1999.06.02
申请号 JP19970331081 申请日期 1997.11.14
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 HISHIDA YUJI
分类号 C30B23/08;C30B29/38;H01L21/20;H01L21/203;H01L21/205;H01L29/12;H01S5/00;H01S5/323;(IPC1-7):H01L21/203;H01S3/18 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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