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发明名称 CAP OF VERTICAL DIFFUSION FURNACE
摘要
申请公布号 KR100189984(B1) 申请公布日期 1999.06.01
申请号 KR19950045824 申请日期 1995.11.30
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 CHOI, SANG-KUK;KIM, SANG-WOON
分类号 H01L21/00;H01L21/18;(IPC1-7):H01L21/18 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
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