发明名称 SEAL PACKING FOR WAFER PLATING AND MANUFACTURE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH11145177(A) 申请公布日期 1999.05.28
申请号 JP19970313362 申请日期 1997.11.14
申请人 ELECTROPLATING ENG OF JAPAN CO 发明人 UCHIUMI YUJI
分类号 B65D53/08;H01L21/288;H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 B65D53/08
代理机构 代理人
主权项
地址