| 发明名称 |
ZOKEISEIHOHO |
| 摘要 |
Electron beam positive resists which are sensitive to electron beam radiation and simultaneously thermally stable are prepared using polycarbonates. |
| 申请公布号 |
JPS5147432(A) |
申请公布日期 |
1976.04.23 |
| 申请号 |
JP19750097679 |
申请日期 |
1975.08.13 |
| 申请人 |
IBM |
发明人 |
EDOWAADO GIPUSUTEIN;UEIN EMU MORYUU;OMAA YUU NIIDO SAADO |
| 分类号 |
G03F7/20;G03F7/039;G03F7/30;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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