发明名称 Arrangements for the detection of disk-shaped objects in a cassette
摘要
申请公布号 GB9906720(D0) 申请公布日期 1999.05.19
申请号 GB19990006720 申请日期 1999.03.23
申请人 JENOPTIK AKTIENGESELLSCHAFT 发明人
分类号 H01L21/00;H01L21/68 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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