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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11111722(A) 申请公布日期 1999.04.23
申请号 JP19970290315 申请日期 1997.10.07
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 KASAGI YASUO
分类号 C23C14/06;C23C14/14;C23C14/34;H01L21/285;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
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