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Verfahren und Vorrichtung zur Beleuchtungseinstellung in Einrichtungen zur Lageerkennung und/oder Qualitätskontrolle von Substraten und/oder darauf zu bestückenden Bauelementen. Bei herkömmlichen Verfahren werden Bauelemente (19) und/oder auf Substraten (5) angebrachte Markierungen (7) mit Beleuchtungseinrichtungen (8) beleuchtet, und über eine Kamera (11) abgebildet. Durch unterschiedlichste optische Eigenschaften von unterschiedlichen Materialien für Substrate (5), Bauelemente (19) und Markierungen (7) wird häufig kein ausreichender Kontrast zwischen Nutz- und Störstrukturen erzielt. Durch eine Beleuchtungseinrichtung (8) aus mehreren Beleuchtungseinheiten (12, 14, 16), die jeweils Licht in einem zueinander unterschiedlichen Spektralbereich emittieren und dabei separat in ihrer Intensität variiert werden, wird eine Beleuchtung mit variabler Spektralverteilung erzielt, durch die ein ausreichender Kontrast bei der Verwendung unterschiedlicher Materialien gewährleistet ist. Einrichtungen zur Lageerkennung und/oder Qualitätskontrolle von Substraten und/oder Bauelementen in Bestückautomaten.
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