发明名称 LAYOUT PATTERNING DEVICE OF SECICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH1167926(A) 申请公布日期 1999.03.09
申请号 JP19970229456 申请日期 1997.08.26
申请人 NEC CORP 发明人 YAMAGUCHI MASAYA
分类号 H01L21/82;G06F17/50;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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