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发明名称 PLASMA PROCESSING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH1154489(A) 申请公布日期 1999.02.26
申请号 JP19970223123 申请日期 1997.08.04
申请人 TOKYO ELECTRON YAMANASHI KK;RES DEV CORP OF JAPAN 发明人 KAWAMURA GOHEI;HIGUCHI KIMIHIRO
分类号 H05H1/46;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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