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发明名称 CLEANING APPARATUS OF A WAFER
摘要
申请公布号 KR0125238(Y1) 申请公布日期 1999.02.18
申请号 KR19940029209U 申请日期 1994.11.04
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 PARK, JUNG-KEUN
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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