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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH1140556(A) 申请公布日期 1999.02.12
申请号 JP19970190817 申请日期 1997.07.16
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 JITOU SHIYUNICHI
分类号 B05C11/08;H01L21/316;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
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