| 发明名称 |
SINGLE-SUBSTRATE MAGNETRON SPUTTERING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1136075(A) |
申请公布日期 |
1999.02.09 |
| 申请号 |
JP19970193530 |
申请日期 |
1997.07.18 |
| 申请人 |
SHIBAURA ENG WORKS CO LTD;SONY DISC TECHNOL:KK |
发明人 |
KINOKIRI KYOJI;IKEDA JIRO |
| 分类号 |
C23C14/04;C23C14/35;C23C14/50;C23C14/56;G11B5/85;G11B5/851;G11B7/26;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/56 |
主分类号 |
C23C14/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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